石墨爐原子化器由加熱電源、保護氣控制系統和石墨管狀爐組成。加熱電源供給原子化器能量，電流通過石墨管產生高熱高溫，溫度可達到3000℃。

　　保護氣控制系統保護石墨管不被燒蝕，內氣路中Ar氣從管兩端流向管中心，由管中心孔流出，以有效地除去在干燥和灰化過程中產生的基體蒸氣，同時保護已原子化了的原子不再被氧化。

      在原子化階段，停止通氣，以延長原子在吸收區內的平均停留時間，避免對原子蒸氣的稀釋。石墨爐原子化器原子化在石墨管中進行。